无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
无尘洁净室的原理。洁净室是利用HEPA、空气净化设备,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚**器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
洁净衣材料以洗后或使用其他处理后仍不会变质或发尘者为基本条件,且其布料为不易燃烧、不起毛,其织法或布料组织不易通过污染物和不易附著污染物材质,另外经过摩擦不产生静电或带电性非常,洗涤再生容易、不易皱、著衣感舒适等亦为选用考虑因素。
气流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃() → 回风夹道→新风、初效空气处理。
重复以上过程,即可达到净化目的。